第140章晶圆切割裂纹异常
阳光正好，微风不燥。
姜华迈着六亲不认的脚步，径直走到了吸烟区，朝着洁白的墙壁一靠，用牙齿咬了一根香烟，将双手插在了裤兜里，脑袋不时摆动一下，眼睛东瞅瞅西望望，一副痞帅的样子。
这个工厂队伍最庞大的是生产部，作为前道主管，他可是生产部的老二。
老二就要有老二的样子，最近他无形之中养成了走路的时候六亲不认的习惯，抽烟的时候也懒得用手，就用牙齿咬着一直抽，香烟烧到嘴巴边了，他就往后拉一下嘴唇，露出一排已经被熏黄了的牙齿。
“老同学，有啥事呢？”姜华歪着脑袋问道。
“昨天安排工程技术人员用假片做工艺验证，也不知道情况怎样了？”辛佟用手指弹了弹烟灰说道。
“等会咱们一起去车间看看！”
“我隐约感觉这个项目并不简单，摩托罗拉的项目，我们千万不能掉以轻心。”辛佟抬起头仰望着蔚蓝的天空说道。
“下一周客户来晶圆了，是驴子是马，拉出来溜溜就知道了。”
抽完烟，二人径直来到了晶圆减薄车间。
昨天去减薄看了一眼，他就无师自通了？
现场只有一名工艺技术员在场，姜华一把就将他抓住了：“昨天安排你们工艺做验证，你们有做过150μm减薄验证吗？”
还好，这只是假片验证，要是直接拿客户的实验片验证，估计很快就会把实验片用完了，重新申请实验片走流程跑物流起码要耽搁一个月时间。
“粗磨选用325#的磨轮，没有错，不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μm左右，粗糙度约为1.5μm，精磨使用900#的磨轮，其损伤层大约为5μm左右，粗糙度约为0.5μm，这样的高低不平纹路，会造成应力集中，使后续工艺划片产生裂纹，我建议精磨采用2500#磨轮试试，假片做完之后测量一下翘曲度，如果翘曲度小于200μm，你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。
辛佟笑了笑，要不是刚才咨询张凯峻，他也一头雾水。
看着工程部老大和WS天王对辛佟的分析连连点头，姜华也惊呆了，这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了？
关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊！
“这个回去还要从4M1E的角度排查一下！”谢工回答道。
“好的，辛经理，我们按照你的要求再做一些假片验证！”谢剑风点了点头。
“这么说来，应力还是来自于减薄工序，那么我想问你，你有测量过减薄后晶圆的翘曲度吗？”罗高工问道。
“是的！”谢工点了点头。
辛佟暗自感叹，真没有想到谢工也考虑到减薄的应力了啊，天王就是天王，不过400μm是不是有点大了？
“2
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